村田正行

材料分析室

FIB-SEM（SII XVision200DB）

デジタルマイクロスコープ（Keyence VHX-6000）

イオンコーター（日立ハイテク E-1030）

クリーンベンチ（アズワン CT-600AD）

研磨台（マルトー ML-182）

卓上フライス盤（ホーザン K-280）

試料調整机１

試料調整机２

特性評価室

磁場中熱電物性測定装置（2.6～500 K, ±5T，日本オートマティックコントロール株式会社）

計測装置（Keithley, Lakeshore, SRS等）

5Tマグネット（Cryogenic J1687）

磁場中熱電物性測定装置（2.3～300 K, ±10T）

10Tマグネット（Jastec JMTD-10T100N1-PC）

4Kクライオスタット（株式会社アクシス）

熱電物性測定装置（160~420 K，無磁場）