ホームへ <English> 1. 粒子製法・評価ニーズと概要 2. 研究概要 3. 履歴書 4. 更新履歴
導入部のみ、簡略化して掲載します。続きに、ご興味頂いた方は、連絡ください。
産業技術総合研究所セラミックス研究部門（中部センター）の機能複合粉体研究グループは、非酸化物粒子を直火（じかび）で連続的に製造する新しい手法を開発した。「酸素が不可欠の火炎装置で非酸化物は合成できない」という常識を覆し、球形度の高い窒化アルミニウム（AlN）粒子の合成に成功。放熱問題が急務となっている半導体基板や放熱部材用のフィラー（充てん剤）としてサンプル出荷を計画しており、量産装置の開発プロジェクトにも着手した。
この直火製法を開発したのは、高尾泰正主任研究員、大橋優喜グループ長、山東睦夫副研究部門長らのグループ。セラミックス系フィラーの標準製法である火炎装置とガス窒化法を融合した。ガス窒化法とは、電気炉焼成で窒素の代わりに還元性ガスを用いたり、炭化水素系ガスを添加したりする方法をいい、詳しい反応機構はあまり知られていなかった。研究グループでは、熱力学的に窒化反応を再検討し、炭化水素系ガスを構成要素とする火炎装置を改良した。