量子ホール素子を集積化した量子ホールアレイ素子の作製及び評価を行っています。 これは、という我々に馴染みの薄い量子化抵抗値をもつ量子ホール素子を、直並列に組み合わせることにより、任意の量子化抵抗値を実現しようという試みです。
各国の標準研究所同士が測定能力を比較する際の仲介器としての使用が期待されています。
図 4及び図 5に、素子の写真と対磁場特性を示します。 の
プラトーが、
を示していることがわかります。 8桁の1未満で量子化抵抗値が設計値に整合していることを確認しました。
今後、他の量子化抵抗値を持つアレー素子の作製等を進める予定です。