装置・ツール


ハイパーミニ・プロセスシステム
(局所クリーンシステム、ハイパーミニエンバイロンメントシステム)

従来のクリーンルームでは不可能な、パーティクルゼロ環境を実現している。また、パーティクルだけでなく、酸素濃度・溶存酸素濃度・水分等の環境物理量の制御が可能な世界で唯一のトータルシステム

詳細は、「研究トピックス」の「ハイパーミニプロセスシステム」のページに。

ハイパーミニ・プロセスシステム




コンパクトIV測定システム

・開発した自作IV測定・解析ソフトウェア "IV Schot"

ダイオード特性に特化した、電気的特性測定ソフトウェア。大量の電極測定を効率よく行うためのあらゆる配慮がなされている。主な仕様として、Windows対応、各社測定器対応可能、低電流ほどゆっくり測定する可変時間データ取得機能等。Schottky測定専用ソフトとしては、他にない優れたソフトウェアである。

IV Schot




・IV測定ハードウェアシステム

デスクトップでの気軽な測定を可能とする小型IV測定システム。小型でありながら、1fAオーダの計測が可能な高性能システム(上図に測定例)。上記ソフトウェアとの組み合わせで、リーク電流の解析に威力を発揮する。

IV Schot
IV測定システム全景

IV Schot
プローバー拡大写真
電磁シールドチェンバー外径は11.6mm。1fA測定が可能なようにシールド対策が施されている。




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Last updated: Aug 12, 2003. Shiro HARA's Web Site