ジーパンでICを製造する世界がやってくる


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Page66 ジーパンでICを製造する世界がやってくる Page67 クリーンルームの多様化・目的分化 Page68 局所クリーン化生産方式 Page69 局所クリーン化概念 Page70 局所クリーン化構成 Page71 基本4原則不要 Page72 密閉型容器 Page73 CRへの局所クリーン化技術導入 Page74 概念図@半導体工場 Page77 自動搬送システム Page78 近未来システム Page87 新技術の可能性 Page88 環境分離技術 Page89 ハイパーミニ Page90 局所クリーン化vs通常工場 Page91 パージ特性 Page92 溶存酸素の低減原理 Page102 sample transfer Page108 技術要素 Page109 規模別特徴 Page99JACA 広範な価値

平成16年4月12日初稿, 9月22日ビューグラフ全面改定

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Last updated: Aug. 24, 2006. Shiro HARA's Web Site