■ 邦文記事 ■

# English Articles (Click me.)

  1. 大泊 巌, 原 史朗, 知京 豊裕, 「原子的尺度で見たシリサイド/シリコン界面の構造と性質」, 応用物理, 56(3),311-331(March, 1987).

  2. 原 史朗, 吉田 貞史, 「3C-SiCの表面解析と原子層制御の試み」, 電子技術総合研究所彙報, 58(2),95-102 (April, 1994).

  3. 原 史朗, 大串 秀世, 「SiCにおける表面構造の本質的乱れ」, 応用物理, 65(7) 737-741(July 1996).

  4. 原 史朗, 寺地 徳之, 大串 秀世, 「半導体表面平坦化技術の導入でSchottky/Ohmic形成の制御に初めて成功」, 電総研ニュース, 556, 11-14 (May 1996).

  5. 原 史朗, 北村順也, 大串 秀世, 「SiC表面における本質的原子配列のゆらぎ現象」, インテリジェント材料, 7, 14-18 (1997).

  6. 原 史朗, 寺地 徳之, 大串 秀世, 梶村 皓二, 「金属/半導体界面のSchottky障壁制御技術における新展開」, 電子技術総合研究所彙報, 63(1,2), 13-19 (September 1999). [PDF] (811kB)

  7. 奥村 元, 沈 旭強, 井手利英, 清水 三聡, 原 史朗, 園田 早紀, 清水 三郎, 「MBE成長窒化物半導体の表面構造」, 表面科学, 21(3), 45 (March 2000). [PDF] (695kB)

  8. 原 史朗, 「ULSI工場を越える環境性能を持つ局所クリーンシステムの開発」, 電総研ニュース, 603, 2-7 (May, 11, 2000). [PDF] (1.1MB)

  9. 原 史朗,「局所クリーンシステムの環境性能とその応用」, 電子材料, 39, 10-14 (8月号, 2000).

  10. 原 史朗, 「金属/6H-SiC界面で見いだされたショットキーリミットと電荷中性点」, 表面科学, 21(12), 791-799 (December 2000). [PDF] (1.2MB)

  11. 原 史朗, 「半導体界面科学ラボ」, 電子技術総合研究所彙報, 64(9,10), 37-41 (January 2001). [PDF] (85kB)

  12. 原 史朗, 「変貌するクリーン化技術ニーズと技術革新の潮流」, クリーンテクノロジー, 15(2),55-60 (February 2005).

  13. 原 史朗, 「新世代の局所クリーン化技術の最新動向」, 電子材料, 44(8),24-32 (August 2005).

  14. 原 史朗, 「新世代の局所クリーン化技術の最新動向」, 電子技術, 19(8),91-99 (August 2006) (韓国ChomDan社出版).

  15. 原 史朗, 「多品種・変量時代の新世代局所クリーン化生産方式」, 月刊ディスプレイ, 12(11),47-54 (November 2006).

  16. 原 史朗, 「ミニマルマニュファクチャリングと局所クリーン化生産システム」, 空気清浄, 44(4), (November 2006).

  17. 原 史朗, 「局所クリーン化の世界」, Kブックスシリーズ194, 工業調査会 ISBN-13: 978-4769312604 (December 2006).

  18. 原 史朗, 「ショットキー障壁」, 表面物性工学ハンドブック 第2版, 丸善, p453-457(10.5節), ISBN-13: 978-4621078389 (Jan 2007).

  19. 「ミニマルマニュファクチャリング 考え方とテクノロジー」, 産業技術総合研究所 ミニマルマニュファクチャリング技術課題タスクフォース編, p1-86 (Apr 2007).

  20. 「ミニマルマニュファクチャリングとクリーン化技術」, クリーンテクノロジー, 17(8), 54-58(August 2007).

  21. 「PERSONALITY:肥大化する半導体・FPD産業と生産システムの革新 その課題解決に向けて、今動き出す」, Semiconductor FPD World, 26(10), 9(October 2007). ※インタビュー記事

  22. 原 史朗, 「局所クリーン化」, 薄膜ハンドブック(第2版), オーム社, 607-609 (Mar 2008).

  23. 原 史朗, 「局所クリーン化リサーチシステムと半導体表面・界面への応用」, 表面科学, 29(6), 375-381 (June 2008). [PDF] (2.2MB)

  24. 原 史朗, 「局所クリーン化洗浄技術」, 産業洗浄, 2, 8-13 (Sep 2008).

  25. 原 史朗, 「レポート 21世紀型生産システム〜微細加工ファブシステムを中心に〜」, ファブシステム研究会編著, 1-260 (Nov 2008). [PDF] (22.7MB)

  26. 原 史朗, 「座談会:企業との連携における本格研究の展開」, 産総研TODAY, 9(2), 2-9 (Feb 2009). [PDF] (1.3MB)

  27. 原 史朗, 「ミニマル生産システムを創造する」, 産総研TODAY, 9(2), 10-11 (Feb 2009). [PDF] (0.9MB)

  28. 原 史朗, 研究室紹介103「独立行政法人 産業技術総合研究所 ファブシステム研究会」, 真空ジャーナル,128(1),16-17(2010).

  29. 原 史朗, 「ミニマルファブ構想」, SIIQ PRESS, 20, 2-5 (February. 2011).

  30. 原 史朗, 前川 仁, 池田 伸一, 中野 禅, 「ミニマルファブシステムの構想と実現に向けて」, 精密工学会誌, 77(3) 249-253 (March 2011).

  31. 原 史朗, 前川 仁, 池田 伸一, Sommawan Khumpuang, 吉田 知也, 長尾 昌善, 中野 禅, 小木曽 久人, 「ミニマルファブによる半導体工場イノベーション」, 空気清浄, 49(2), 8-15 (July 2011)

  32. 原 史朗, 「半導体製造用ミニマル生産システム」, 先端加工技術, 85, 10-12 (November 2011).

  33. 原 史朗, 「究極の少量生産 ミニマルファブ徹底解説」, Electronic Journal Archives 299, 1-74 (February 2012).

  34. 原 史朗, 前川 仁, 池田 伸一, クンプアン ソマワン, 「ミニマルファブ構想」, 電気学会センサ・マイクロマシン部門大会 第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集, 363-366 (October 2012)

  35. 原 史朗, 「次世代生産システム「ミニマルファブ」」, JPCA NEWS, 531, 10-22 (December 2012).

  36. 原 史朗, 前川 仁, 池田 伸一, Sommawan Khumpuang, 中野 禅, 「LSI産業を変えるミニマルファブ構想の進展」, 電子情報通信学会誌, 96(8), 649-655 (August 2013).

  37. 原 史朗, 「ミニマルファブ構想」, クリーンテクノロジー, 23(12), 1-6 (December 2013).

  38. クンプアン ソマワン, 原 史朗, 「ミニマルファブにおけるデバイスプロセス開発事例」, クリーンテクノロジー, 23(12), 11-14 (December 2013).

  39. 前川 仁, 原 史朗, 「ミニマルウェーハ搬送前室システム」, クリーンテクノロジー, 23(12), 21-23 (December 2013).

  40. 扇子 義久, 武内 翔, 奧田 修史, クンプアン ソマワン, 原 史朗, 「ミニマルファブにおけるデバイスプロセス開発事例」, クリーンテクノロジー, 23(12), 30-32 (December 2013).

  41. 池田 伸一, 石田 夕起, 原 史朗, 中戸 克彦, 三ヶ原 孝則, 「ミニマル集光型CVD炉」, クリーンテクノロジー, 23(12), 43-45 (December 2013).

  42. 小木曽 久人, 中野 禅, 清水 禎樹, クンプアン ソマワン, 原 史朗, 田中 宏幸, 加藤 旭彦, 行村 建, 二川 真士, 吉岡 秀明, 福田 孝弘, 内山 嘉典, 藪田 勇気, 「ミニマルファブにおけるプラズマプロセス装置」, クリーンテクノロジー, 23(12), 52-56 (December 2013).

  43. 伊藤 宏, 鴫原 新一, クンプアン ソマワン, 原 史朗, 「ミニマルモデルルーム」, クリーンテクノロジー, 23(12), 57-59 (December 2013).

  44. 原 史朗, 「ミニマルファブ特集〜第1回 ミニマルファブの沿革〜」, SEAJ Journal, 141, 8-11 (April 2013).

  45. 原 史朗, 「ミニマルファブ特集〜第2回 ミニマルファブのコンセプト〜」, SEAJ Journal, 142, 18-24 (August 2013).

  46. 原 史朗, 「ミニマルファブ特集〜第3回 ミニマルファブの沿革〜」, SEAJ Journal, 143, 8-11 (November 2013).

  47. 原 史朗, 「ミニマルファブ特集〜第4回 ミニマルファブのテクノロジー〜」, SEAJ Journal, 145, 20-26 (April 2014).

  48. 原 史朗, 「ミニマルファブプロジェクトにおける死の谷を越える取組み」, Magnetics Jpn. 9(1), 22-27 (February 2014).

  49. 原 史朗, 「ミニマルファブ構想」 in 「ミニマルファブによる製造技術の革新」, 日本工業出版, ISBN978-4-8190-2607-9, 9-14 (April 2014).

  50. クンプアン ソマワン, 原 史朗, 「ミニマルファブにおけるデバイスプロセス開発事例」in「ミニマルファブによる製造技術の革新」, 日本工業出版, ISBN978-4-8190-2607-9, 9-14 (April 2014).

  51. 前川 仁, 原 史朗, 「ミニマルウェーハ搬送前室システム」 in「ミニマルファブによる製造技術の革新」, 日本工業出版, ISBN978-4-8190-2607-9, 29-31 (April 2014).

  52. 扇子 義久, 武内 翔, 奧田 修史, クンプアン ソマワン, 原 史朗, 「ミニマルファブにおけるデバイスプロセス開発事例」in「ミニマルファブによる製造技術の革新」, 日本工業出版, ISBN978-4-8190-2607-9, 38-40 (April 2014).

  53. 池田 伸一, 石田 夕起, 原 史朗, 中戸 克彦, 三ヶ原 孝則, 「ミニマル集光型CVD炉」in「ミニマルファブによる製造技術の革新」, 日本工業出版, ISBN978-4-8190-2607-9, 51-53 (April 2014).

  54. 小木曽 久人, 中野 禅, 清水 禎樹, クンプアン ソマワン, 原 史朗, 田中 宏幸, 加藤 旭彦, 行村 建, 二川 真士, 吉岡 秀明, 福田 孝弘, 内山 嘉典, 藪田 勇気, 「ミニマルファブにおけるプラズマプロセス装置」in「ミニマルファブによる製造技術の革新」, 日本工業出版, ISBN978-4-8190-2607-9, 60-64 (April 2014).

  55. 伊藤 宏, 鴫原 新一, クンプアン ソマワン, 原 史朗, 「ミニマルモデルルーム」in「ミニマルファブによる製造技術の革新」, 日本工業出版, ISBN978-4-8190-2607-9, 65-67 (April 2014).

  56. 原 史朗, クンプアン ソマワン, 「ミニマルファブの開発とそのデバイスプロセス」, 応用物理, 83(5), 380-384 (May 2014).

  57. 原 史朗, 「第6講義 ミニマルエンジニアリングの新展開」in 「創造の源流 2015年版 社会を変えるイノベーション」, 日経BPコンサルティング ISBN978-4-86443-083-8, 233-276 (April 2015).

  58. 久保内 講一, 原 史朗, 「総論:ミニマルファブのコンセプトと開発体制」, 電気学会誌, 135(8), 534-537 (Aug 2015).

  59. 原 史朗, 前川仁, 「ミニマルファブのライン開発」, 電気学会誌, 135(8), 538-542 (Aug 2015).

  60. クンプアン ソマワン, 原 史朗, 「ミニマルファブにおける固有プロセス技術」, 電気学会誌, 135(8), 543-548 (Aug 2015).

  61. クンプアン ソマワン, 原 史朗, 「デバイス試作の現状と課題」, 電気学会誌, 135(8), 549-553 (Aug 2015).

  62. 井上 道弘, 居村 史人, 原 史朗, 「ミニマルファブにおける後工程・実装技術」, 電気学会誌, 135(8), 554-557 (Aug 2015).

■ ウェッブ記事 ■

・原 史朗, SOPTニュース 特別企画「変種変量生産時代の局所クリーン化生産方式」 ピューリフィケーション研究会,

2006年6月〜2007年10月まで毎月1回、業界向けに配信。

■ 新聞記事 ■

・インタビュー : 原 史朗, 「半導体製造の新潮流 ミニマルファブ構想 ■1■ ファブシステム研究会 概論」 半導体産業新聞 (6 Jan 2010).

・インタビュー : 原田 康之, 「半導体製造の新潮流 ミニマルファブ構想 ■2■ (株)プレテック 洗浄装置」 半導体産業新聞 (13 Jan 2010).

・他多数.

■ 雑誌記事 ■

・「「ミニマルファブ」構想立ち上がる」 ガスレビュー, 701, 3-4 (August 2010).

・「ミニマルファブ」 ガストロン, 35, 11-13 (Fall 2012).

・「ミニマルCVD装置開発進行中」 ガストロン, 36, 19-20 (Spring 2013).

・「羅針盤 原史朗 だから、1000分の1なんです。」 日経ものづくり, 2013年9月号, 4-6 (September 2013).

・「ミニマルファブ 少量に特化した半導体工場」 日経ものづくり, 2013年9月号, 48-53 (September 2013).

・「ミニマルファブハンドブック」 産業タイムズ社, ISBN978-4-88353-218-6, 1-97 (December 2013).

・「ミニマルファブが描く新たな半導体ビジネス」 InterLab, 110, 36-40 (Spring 2014).





[Home]
Last updated: Aug 9, 2015. Shiro HARA's Web Site