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原 史朗 Personal WEB
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ナノテクを実用技術につなげる要素技術・製造環境について、主題としてとりあげます。



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 ミニマル装置群の写真
半導体工場を越える性能を実現した、
クリーンルーム不用のミニマル装置群 (セミコン2013にて)
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