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【発明の名称】角度補正方法

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(57)【要約】

【課題】　傾き検出装置での対象面の傾きの測定精度を

向上させることができるようにする。

【解決手段】　この発明の角度補正方法は、ＸＹ平面で

ある対象面Ｐから反射する反射光Ｌ１を、ａ軸およびｂ

軸で４分割されたフォトダイオード受光面Ｄで受け止

め、対象面Ｐの傾きを反射光Ｌ１のフォトダイオード受

光面Ｄにおける照射位置の変化から求める傾き検出装置

におけるフォトダイオード受光面Ｄの角度補正方法であ

って、フォトダイオード受光面Ｄを球体Ｃにｃ軸が球体

Ｃの中心Ｃｏを通るように固定し、球体Ｃをｃ軸の回り

に回転させ、かつ球体Ｃの、対象面ＰのＺ軸と平行なｋ

軸の回りに回転させることで、フォトダイオード受光面

Ｄをｃ軸回りおよびｋ軸回りに回転させ、フォトダイオ

ード受光面Ｄを対象面Ｐに射影した場合の射影ａ軸をＹ

軸に、射影ｂ軸をＸ軸に一致させる、ことを特徴として

いる。

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【産業上の利用分野】

　この発明は、ＸＹ平面である対象面から反射する反射光

を、直交するａ軸およびｂ軸で４分割されたフォトダイオ

ード受光面で受け止め、対象面の傾きを反射光のフォトダ

イオード受光面での照射位置の変化から求める傾き検出装

置におけるフォトダイオード受光面の角度補正方法に関す

るものである。

　フォトダイオード受光面を球体に固定し、その球体をｃ

軸回りにまたｋ軸回りに回転させてフォトダイオード受光

面の対象面に対する回転ずれをなくすようにしたので、射

影ａ軸はＹ軸と、また射影ｂ軸はＸ軸とそれぞれ一致し、

混信による光量差分Ａ，Ｂのデータ精度悪化を防止でき、し

たがって、接触式表面粗さ計や走査型力顕微鏡（原子間力顕

微鏡）での対象面の傾きの測定精度を大幅に向上させること

ができる。

　また、球体を回転させることで、フォトダイオード受光面

Ｄの角度補正を行うので、その角度補正を簡単な構成の下で、

精度良く行うことができる。

　球体を球体保持部に保持するとともに、磁石で隅部側に引

きつけるようにしたので、球体を安定して保持でき、この点

からもフォトダイオード受光面の角度補正を精度良く行うこ

とができる。

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【特許番号】特許第3306657号

【成立日】平成１４年０５月２７日

【特許権者】独立行政法人 産業技術総合研究所

 

【出願番号】特願2000-17115

【出願日】平成１２年０１月２６日

【出願人】経済産業省産業技術総合研究所長

【発明者】藤澤悟、小木曽久人

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-------> 米国特許（取得済）