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【発明の名称】光反射方式角度検出計の感度またはダイナミックレンジの制御方法

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【要約】

【課題】反射光路を長くすることなく、したがって装置

の大型化や反射光路中の空気の状態の変化の影響を大き

くすることなく、容易かつ確実に、光反射方式角度検出

計の感度またはダイナミックレンジの制御方法を提供す

ること

【解決手段】反射面５からの反射光８の位置を光位置検

出器１５で検出して前記反射光の位置の変化から前記反

射面の角度変化を検出する光反射方式角度検出計１にお

いて、前記反射光８の発散角φを制御して検出の感度ま

たはダイナミックレンジを制御すること

 

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【産業上の利用分野】本発明は、光反射方式角度検出計

の感度またはダイナミックレンジの制御方法に関するも

のである。

この技術は面の角度変化の精密計測技術、接触式表面

粗さ計、走査型プローブ顕微鏡、原子間力顕微鏡等に用

いられる光テコ方式を用いた変位センサーの感度または

ダイナミックレンジの制御に用いることができる。

 

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【特許番号】特許第3044225号

【成立日】平成１２年１１月０５日

【特許権者】工業技術院長

 

【出願番号】特願平10-330212

【出願日】平成１０年０３月１７日

【出願人】工業技術院長

【発明者】藤澤悟

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