Profile

三隅 伊知子（Ichiko Misumi）

国立研究開発法人産業技術総合研究所
物質計測標準研究部門（ウェブサイト）
ナノ構造計測標準研究グループ　研究グループ長

〒305-8565 茨城県つくば市東1-1-1　中央事業所５群

お知らせ

• 2023.10 住所表記が変更されました。
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• 英国物理学会(IOP)よりebookが出版されました。
• (IOPより著者ホームページ掲載用に表紙画像が提供されました。)

• 測長原子間力顕微鏡及び他の計測装置によるナノ構造計測標準(IOP ebook)

経歴

• 東京大学 工学部 精密機械工学科 卒業
• 東京大学大学院 工学系研究科 精密機械工学専攻 博士課程 修了。博士（工学）
• 国立研究開発法人 産業技術総合研究所 にて測長AFMを用いたナノ構造計測標準の開発・供給に従事

研究実績

• 産総研 研究成果発表データベースは2020年3月で停止しました。
• ORCiDをご利用ください。

表彰歴

• ２０１９年５月１６日
• 英国物理学会 (IOP) Measurement Science and Technology誌
• 2018 Highlights of Measurement Science and Technology
• "Development of a metrological atomic force microscope with a tip-tilting mechanism for 3D nanometrology"
• Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Kazuto Kinoshita and Satoshi Gonda
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• ２０１８年６月２５日
• Precision Engineering誌
• Certificate of Outstanding Contribution in Reviewing
• awarded April 2018 to Ichiko Misumi
• in recognition of the contributions made to the quality of the journal
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• ２０１７年１月２５日
• 国際光工学会 (The International Society for Optical Engineering, SPIE)
• Certificate of appreciation awarded to Ichiko Misumi
• for serving as a reviewer for
• Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS during the calendar year of 2016
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• ２０１４年９月４日
• 11th IMEKO Symposium LMPMI 2014 International Conference Sep. 2-5, 2014, Tsukuba, Japan
• Excellent Presentation Award
• PROFILE SURFACE ROUGHNESS MEASUREMENT USING METROLOGICAL ATOMIC FORCE MICROSCOPE AND UNCERTAINTY EVALUATION
• Ichiko Misumi
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• ２０１１年４月２０日
• 平成２３年度文部科学大臣表彰（科学技術賞(開発部門)）
• 「標準ナノスケールと校正技術の開発」
• 権太聡、三隅伊知子、菅原健太郎
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• ２００８年５月１８日
• 英国物理学会 (IOP) Measurement Science and Technology誌
• Highly Commended Paper Award 2007
• "Application of a GaAs/InGaP superlattice in nanometric lateral scales"
• Ichiko Misumi, Satoshi Gonda, Osamu Sato, Kentaro Sugawara, Kazunori Yoshizaki, Toshiyuki Takatsuji, Yasushi Azuma, Toshiyuki Fujimoto and Tomizo Kurosawa
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• ２００６年１０月１２日
• 英国物理学会 (IOP) Measurement Science and Technology誌
• Outstanding Precision Measurement Paper Award 2005
• "Sub-hundred nanometre pitch measurements using an AFM with differential laser interferometers for designing usable lateral scales"
• I Misumi, S Gonda, Q Huang, T Keem, T Kurosawa, A Fujii, N Hisata, T Yamagishi, H Fujimoto, K Enjoji, S Aya and H Sumitani
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• ２００６年４月２５日
• 日本学術振興会ナノプローブテクノロジー第167委員会
• ナノプローブテクノロジー奨励賞
• 「測長原子間力顕微鏡(AFM)を用いたナノ計測標準の確立に貢献」
• 三隅伊知子
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• ２００１年９月２４日
• 社団法人精密工学会 ２００１年度秋季大会学術講演会実行委員会
• ベストプレゼンテーション賞
• 「ナノメトロロジカルAFMを用いた一次元グレーティングの校正」
• 三隅伊知子