センシング技術研究部門（ウェブサイト）
センシングデバイス研究グループ
上級主任研究員（研究内容動画）（Google Scholar）
研究キーワード：圧電材料、強誘電材料、薄膜、GaN、AlN、GaScN、AlScN、多元窒化物、センサ、MEMS 他
※九州大学連携講座 教授（大学院総合理工学府 I類 材料理工学メジャー 教育分野：新素材開発工学）
では大学院生を募集しています （九州大学大学院総合理工学府）
※産業技術総合研究所には大学院生をサポートする制度があります
（リサーチアシスタント制度）
（イノベーションスクール）
E-mail：m.uehara*aist.go.jp（*を@に変更して使用してください。）
2026.7.2 研究業績 エレクトロニクス実装学会誌に解説記事が掲載されました。
AlScNおよびGaScNを中心としたウルツ鉱型窒化物圧電薄膜の機能発現と材料開発
2026.5.19 研究業績 当研究室（九州大学総理工）の修士学生の小林輝君が第27回（2026年春季）応用物理学会でPoster Awardを 受賞しました。
X線吸収分光法を用いた電界印加によるScGaN薄膜の局所構造の動的変化の観察
2026.5.1 研究業績 日本セラミックス協会誌「セラミックス（CERAMICS JAPAN)」に解説記事が掲載されました（オープンアクセス）。
ScNとの合金化がもたらす窒化物の圧電・強誘電特性への効果と最近の研究動向
2025.10.31 研究業績 日本結晶成長学会誌に解説記事が掲載されました。
スカンジウム添加窒化物の圧電性・強誘電性と応用展開 ―次世代デバイスへの期待―
2025.10.7 研究業績 MRS Bulletin誌にウルツ鉱型強誘電体に関する総説（国際共著）（オープンアクセス）が掲載されました
Growth of wurtzite ferroelectrics
2025.01.21 産総研 プレス発表
高周波通信に貢献する圧電薄膜の作製に成功
2024.12.4 産総研 プレス発表
低消費電力なメモリデバイスに貢献する新材料の開発に成功
2024.12.2 研究業績 「競争的資金等の研究課題」を更新しました
競争的資金等の研究課題
2020.09.19 産総研 プレス発表
高い強誘電性を有する窒化物強誘電体の薄膜化に成功
2020.01.31 産総研マガジン
企業の要望に応えた窒化物系圧電材料の開発で巨大市場を狙う～材料の世界に新たな研究分野を生み出す～
2017.08.31 産総研 プレス発表
世界最高性能の窒化ガリウム圧電薄膜をRFスパッタ法で作製
2016.03.18 産総研 プレス発表
レアアースを添加せずに窒化物で世界最高水準の圧電性能を実現
2013.10.02 産総研 プレス発表
新しい工業用X線非破壊検査法の提案
- １９９３年３月 九州大学 工学部 鉄鋼冶金学科 卒業
- １９９５年３月 九州大学 大学院総合理工学研究科 材料開発工学専攻 修士課程 修了
- １９９８年３月 九州大学 大学院総合理工学研究科 材料開発工学専攻 博士課程 修了
- １９９８年３月 博士（工学）（九州大学）
- １９９８年４月 ～２００３年９月 九州大学 大学院工学研究院応用化学部門 助手
- ２００３年１０月 ～ 産業技術総合研究所 入所
- ２０１５年７月 ～２０２４年３月 九州大学 大学院総合理工学研究院連携講座 准教授（併任）
- ２０２４年４月 ～ 九州大学 大学院総合理工学研究院連携講座 教授（併任）
3．研究内容動画