いらっしゃいませ。ここは産総研・物質計測標準研究部門で微量水分標準の研究を行っている阿部恒の個人用Webサイトです。露点-75 ℃ ( 1 ppm) 以下の領域の、極めて乾燥した気体の湿度標準(微量水分標準)について紹介しています。

 Welcome  微量水分の基礎  発生法  測定法  注意点  標準供給  参考資料  論文リスト  リンク  

http://www.htsj.or.jp/wp/media/2017_10.pdf

お知らせ

半導体デバイスが高集積、微細化するのに伴って、近年、製造過程で使用される材料ガスの高純度化が重要な課題になっています。このとき、よく問題にされる不純物の1つに水分があり、最も厳しい要求では、ppbレベルでの制御が必要とされています[1]。このような微量な水分の制御・測定を行うために様々な原理の測定装置が開発されていますが、 どの原理の装置を選んだ場合においても、信頼性の高い測定を行うには、標準に基づく測定装置の校正が不可欠です。

Since Sep. 28, 2007

微量水分領域の湿度標準

Last updated: 5-Feb-2018

  1. JEMIC計測サークルニュースに「湿度計測の基礎と最前線の課題」と題した解説文が掲載されました。ここからダウンロードできます。 New!


  1. 日本伝熱学会の学会誌「伝熱」に「微量水分計測の最前線」と題した解説文が掲載されました(No. 237号, p10-16).New!


  1. 当研究グループの橋口研究員が、ガス中微量水分の高効率な計測技術に関する関する調査研究を行いました。研究報告はここからダウンロードできます(PDF)。


  1. 当研究グループの天野主任研究員が、ガス中微量水分の計測と標準に関する調査研究を行いました。研究報告はここからダウンロードできます(PDF)。


  2. 微量水分計の問題点の記述を含む論文が、産総研が発行している学術ジャーナル「シンセシオロジー」第2巻第3号に掲載されました。ここからダウンロードできます(PDF):日本語英語





  1. 過去のお知らせはこちら