MEMS設計関連情報

from 10 May. 2001

産業技術総合研究所 池原

最終更新 2008/11/25


 ここに書かれていることを含めて、教科書的な本を執筆しました。安い本ですので、よろしければご一読ください。詳細はこちら


MEMS設計関連情報


MEMS物性データ情報


電気学会MICSサポート情報

 電気学会で行われていたマスク共有プロセスMICSについては、電気学会委員会による試験的運用が終了し、以前のホームページはなくなってしまっています。 一部昔のコンテンツが早稲田大学庄子研究室で公開されています。

 もうMICSはやらないみたいですが、MICS関連のページも残しておきます。


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