書籍出版のお知らせ

2005/01/29

　ここのwebページに書かれていることを含めて、初心者向けの教科書的な本を執筆しました。 MEMSの設計やCADについては多少詳しく書きましたが、結晶異方性などについてはあまり書いていません。

　安い本ですので、よろしければご一読ください。(→出版社通販) (→Amazon)

MEMSのはなし
前田龍太郎（編著）、池原　毅、小林　健、単　学伝（著）

日刊工業新聞社 Science and Technology シリーズ B6版126頁
2005年1月26日発行 定価1400円＋税
ISBN4-526-05404-6

目次 (赤字が執筆担当部分です)

  1. 身近で活躍するMEMS
  2. MEMSの製造方法
  3. MEMSのパッケージング
  4. MEMS製造のキーポイント
  5. MEMSにおける微細成形技術
  6. MEMSセンサ
  7. MEMSアクチュエータ
  8. MEMS設計・シミュレーションの実際
  9. フォトマスクの書き方

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