池原 毅
Tsuyoshi IKEHARA

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from 10 May. 2001

最終更新日:2010年06月02日

所属・連絡先

独立行政法人 産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター ネットワークMEMSチーム

〒305-8564 茨城県つくば市並木1-2

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主要研究分野

マイクロセンサ、MEMS材料特性

所属学会

電気学会、日本機械学会、IEEE

お役立ち情報

MEMS設計関連情報


論文等リスト
長いですが検索語リスト代わりに

  1. T. Ikehara and T. Tsuchiya, "Measurement of anisotropic fatigue life in micrometre-scale single-crystal silicon specimens", Micro and Nano Letters, Vol. 5, p. 49 (2010).
  2. T. Ikehara and T. Tsuchiya, "Development of amplitude-controlled parallel-fatigue-test system for micro-electromechanical resonators", Sensors and Materials, Vol. 22, p. 39 (2010).
  3. T. Ikehara and T. Tsuchiya, "Effect of anisotropic elasticity on stress concentration in micro mechanical structures fabricated on (001) single-crystal silicon films", J. Appl. Phys., Vol. 105, 093524 (2009).
  4. T. Ikehara and T. Tsuchiya, "High-cycle fatigue of micromachined single-crystal silicon measured using high-resolution patterned specimens", J. Micromech. Microeng., Vol. 18, 075004 (2008).
  5. T. Ikehara and T. Tsuchiya, "Crystal orientation dependence of fatigue characteristics in single crystal silicon measured using a rotating micro resonator", Technical digest of The 21th IEEE International Conference on MEMS, p. 435 (2008).
  6. T. Ikehara and T. Tsuchiya, "High-cycle fatigue of micromachined single crystal silicon measured using a parallel fatigue test system", IEICE Electronics Express, Vol. 4, p. 288 (2007).
  7. T. Ikehara, J. Lu, M. Konno, R Maeda, and T. Mihara, "A high quality-factor silicon cantilever for a low detection-limit resonant mass sensor operated in air", J. Micromech. Microeng., Vol. 17, p. 2491 (2007).
  8. T. Ikehara and R. Maeda, "Fabrication of an accurately vertical sidewall for optical switch applications using deep RIE and photoresist spray coating", Vol. 12, p. 98 (2005).
  9. 池原 毅、単 学伝、大友 誠、前田龍太郎、"ホットエンボス法による光スイッチ用可動ミラーアレイ構造の作製"、電気学会論文誌E, Vol. 124, p. 354 (2004).
  10. T. Ikehara, S. Shimada, H. Matsuda, and M. Tanaka, "Mechanical strain generation in a polydiacetylene crystal due to photoinduced phase transition", Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 43, p. 654 (2004).
  11. T. Ikehara, M. Tanaka, S. Shimada, and H. Matsuda, "Optically driven actuator using photo-induced phase-transition polymer", Sensors and Actuators A, Vol. 96, p. 239 (2002).
  12. T. Ikehara, S. Shimada, H. Matsuda, and M. Tanaka, "Anisotropic thermal strain measurement at the thermochromic phase transition in a polydiacetylene crystal", Phys. Rev. B, Vol. 64, p. 092202 (2001).
  13. T. Ikehara, R. A. F. Zwijze, and K. Ikeda, "New methods for an accurate determination of residual strain in polycrystalline silicon films by analysing resonant frequencies of micromachined beams", J. Micromech. and Microeng. Vol. 11, p. 55 (2001).
  14. T. Ikehara, M. Tanaka, S. Shimada, and H. Matsuda, "Optically-driven actuator using photo-induced phase-transition material", Technical digest of The 14th IEEE International Conference on MEMS, p. 256 (2001).
  15. T. Ikehara, H. Yamagishi, and K. Ikeda, "Electromagnetically Driven Silicon Microvalve for Large-flow Pneumatic Controls", Proceedings of SPIE, Vol. 3242, p. 136 (1997).
  16. T. Ikehara, C. Kato, Y. Suzuku, S. Fukuhara, and T. Watanabe, "Simulation of Anisotropy Effects on a Crystal-Silicon Diaphragm Used for Pressure Sensors", Technical Digest of the 13th Sensor Symposium, p. 149 (1995).
  17. T. Itoh, H. Tsuchi, and T. Ikehara, "Dynamical Polariton Concept for Exciton Absorption Process in Semiconductors", J. Lumin. Vol. 58, p. 78 (1994).
  18. T. Ikehara and T. Itoh, "Dynamical Behavior of the Exciton Polaritons in CuCl: Coherent Propagation and Momentum Relaxation", Phys. Rev. B Vol. 44, p. 9283 (1991).
  19. T. Ikehara and T. Itoh, "Picosecond Dynamics of Hot Biexcitons in CuCl under Weak Excitation Regime", Solid State Commun. Vol. 79, p. 755 (1991).
  20. T. Ikehara and T. Itoh, "Direct Observation of Elastic and Inelastic Scattering Rates of Exciton Polaritons in CuCl", Proceedings of the 20th International Conference on the Physics of Semiconductors, p. 1943 (1990).

略歴

1993年 東北大学大学院理学研究科物理学専攻修了 博士(理学)取得

1993年〜1999年 横河電機株式会社 中央研究所 マイクロマシン研究部所属

1999年〜2002年 産業技術総合研究所 (機械技術研究所) 機械システム研究部門

2002年〜2003年 経済産業省 研究開発課 産業技術調査官

2003年〜2010年 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門

2010年〜 産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター