[1] International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS)。半導体製造技術に関するロード

　 マップです。微量水分制御の指針も年ごとに示されています。ここからダウンロードできます。

[2] 湿度・水分計測と環境のモニタ, 日本機械学会編, 技報堂出版。少し古いですが、日本語で書かれている湿度計測に関する書物の中で、もっとも詳細な説明がなされている本です。水蒸気増加補正係数についての解説があります。気体中の微量水分についても１章を割いて説明しています。液体中と固体中の水分に関する章もあります。

[3] JIS Z 8806, 湿度の測定方法に関する日本工業規格です。蒸気圧式や水蒸気増加補正係数の記述があります。

[4] D. Sonntag, Important new values of the physical constants of 1986, vapor pressure formulations based on the ITS-90, and psychrometer formulae, Z. Meteorol. 70 (1990) 340-344.

[5] E. Flaherty, C. Herold, D. Murray, and S. R. Thompson, Determination of water in hydrogen chloride gas by a condensation technique, Anal. Chem. 58 (1986) 1903-1904.

[6] A. O’Keefe, D. A. G. Deacon, Cavity ring-down optical spectrometer for absorption measurements using pulsed laser sources. Rev. Sci. Instrum. 59 (1988) 2544-2551.

[7] 川崎昌博、江波進一、キャビティーリングダウン分光法による微量物質検出、レーザー研究、第34巻第4号、(2006) 289-294.

[8] S. A. Bell, T. Gardiner, R. M. Gee, M. Stevens, K. Waterfield, and A. Wooley, An evaluation of trace moisture measurement methods, Proceedings of TEMPMEKO2004 (2005) 663-668.