いらっしゃいませ。ここは産総研・計測標準研究部門で微量水分領域の湿度標準の研究を行っている阿部恒の個人用Webサイトです。露点-75 ℃ ( 1 ppm)　以下の領域の、極めて乾燥した気体の湿度標準(微量水分標準)について紹介しています。

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  1. 箇条書き項目微量水分の基礎


  1. 箇条書き項目微量水分発生法


  1. 箇条書き項目微量水分測定法


  1. 箇条書き項目微量水分測定の注意点


  1. 箇条書き項目標準供給


  1. 箇条書き項目参考資料


  1. 箇条書き項目論文リスト


  1. 箇条書き項目リンク

お知らせ

  1. ◆世界で初めて行われた微量水分標準の国際比較にNMIJも参加しました。簡単な報告はここ。New!


  1. ◆産総研・湿度標準研究室の研究員がガス中微量水分の計測と標準に関する調査研究を行いました。研究報告はここからダウンロードできます(PDF)。


  3. ◆震災の影響で産総研の湿度の校正サービスが現在ストップしています。ご迷惑をお掛けして誠に申し訳ありませんが、再開まで今しばらく時間が掛かりそうです。微量水分領域の湿度の校正サービスをご希望でお急ぎの方は、一般財団法人・化学物質評価研究機構(CERI)へご相談下さい。産総研で校正された微量水分計に基づいて校正サービスを行っています。詳細はこちら。


  5. ◆微量水分計の問題点の記述を含む論文が、産総研が発行している学術ジャーナル「シンセシオロジー」第2巻第3号に掲載されました。ここからダウンロードできます(PDF)：日本語、英語


  7. ◆温度湿度クラブは温度・湿度計測のユーザーや計測器メーカー等の方々との情報交換を主な目的としています。年会費・参加費は無料ですので、温度・湿度計測に関わっている方々は是非ご入会下さい。




  11. 過去のお知らせはこちら。

半導体デバイスが高集積、微細化するのに伴って、近年、製造過程で使用される材料ガスの高純度化が重要な課題になっています。このとき、よく問題にされる不純物の1つに水分があり、最も厳しい要求では、ppbレベルでの制御が必要とされています[1]。このような微量な水分の制御・測定を行うために様々な原理の測定装置が開発されていますが、 どの原理の装置を選んだ場合においても、信頼性の高い測定を行うには、標準に基づく測定装置の校正が不可欠です。

Gas & LNG Workshop (Kuala Lumpur)

Since Sep. 28, 2007

微量水分領域の湿度標準

Last updated:9-May-2012